株式会社Ｐｈｉｌｔｅｃｈは半導体製造技術開発のための製品提供と その技術情報を用いた製品サービスで新産業をサポートしています。
斜め基板上への ヘテロ結晶成長 サービスをサポートする 技術陣のプロファイル Technology Staff Profile

	◆事業◆ 半導体開発で蓄積された科学知識を用いて、Philtechは先端微細パタｰンテストウエハの提供から事業を始めました。 デバイスメｰカｰの評価基準とあわせるためのダマシンCu配線ウエハやコンタクト抵抗ウエハ、ArF液浸露光を用いた22nm微細パタンウエハを提供しています。CMP評価ではベアシリコンウエハ、ブランケット膜ウエハ、無欠陥MITパタン、STIパタンウエハを提供しています。 大容量記憶と高知能を目指す3D実装のためのTSV(貫通電極)ウエハと張り合わせ標準パタンウエハをそろえました。プラズマ電荷ダメｰジを感度よく測定するウエハと測定サｰビスは世界で評価されています。 2011年の福島事故は将来に向けて科学は何をすべきかを考えさせました。巨額の投資が行われた半導体の知識は未来への投資でもあったと解釈し、当社はこの知識を未来へ向けて役立てることを目指します。まず太陽エネルギｰを安価に利用可能にする太陽光発電セル製造技術に焦点を当てました。まず、ガラス基板や鉄板フォイル上にポリシリコンなどの結晶薄膜を大気環境で連続成長させる(Heat　Beam)CVD装置を開発し技術販売を開始いたしました。 派生大気遮断アニール装置技術は太陽電池関係装置だけでなく大型表示デバイス製造に不可欠な塗布膜(銅、透明導電膜ZnO、SOD)の印刷焼成を可能にしました。 LEDの結晶成長を安価に行う装置を製作し輸出しました。 当社は半導体の科学資産を未来世代のための価値に変換していきます。
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