過熱水蒸気発生器/ヒートビームシリンダー
(高効率小型ガス加熱器)
テストウエハ

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ご挨拶

CEO Furumura 私たちフィルテックは、テストウエハと小型高効率熱交換器
(ヒートビームシリンダー)でお客様の技術開発を支援します。
テストウエハサービスでは、ベアSiウエハ、膜付ウエハ、パターンウエハ等を提供します。更に、チャージアップダメージを評価するウエハのサービスは12インチウエハでも提供可能であり、世界的に評価されています。
 特許を取得した小型熱交換器ヒートビームシリンダーはガスや液体を効率よく、瞬時に高温に加熱し、1000℃近くまで温度を上げることが可能です。
 窒素を加熱して生成したホットN2は半導体製造装置の排気ラインに用いると反応生成物の付着を防止できます。また水を加熱して過熱蒸気発生器とすることができ、様々な用途での使用が期待されます。

 これらの提供は当社の表現であり、成長する市場作りに貢献します。

代表取締役 古村雄二


Philtech offers various kinds of test wafer such as bare Si wafer, blanket wafer and patterned wafer.
Especially, 300mm charge up monitor wafer is highly appraised worldwide to evaluate plasma induced damage.
We also provide high efficient small sized heat exchanger (Heat Beam Cylinder), which can generate clean Hot N2, Super Steam above 900 degree C.
This heat exchanger is so small that it can be installed at the customer's use point with flexible layout.

Philtech will coninue to update the scientific asset of semi-conductor, creating values beneficial for future generations.

CEO Yuji Furumura