過熱水蒸気発生器/ヒートビームシリンダー
(高効率小型熱交換器)
テストウエハ

経営理念と経営戦略

経営理念 Business Philosophy

フィルテックは人に宿る知的財産から製品を作り出します。
その価値に応じた評価が人に与えられる会社作りを目指します。

経営戦略 Business Strategy

  1. 半導体開発で人に蓄積した知識でテストウエハを供給し開発市場をつくります。
  2. 世界の試作インフラをネットワークでつなぎ、試作品を作るサービスをします。
  3. ガスを加熱してホットN2を生成したり、水を加熱して過熱水蒸気を発生することのできる、小型で高効率の
    熱交換器を供給し、お客様の装置開発に貢献します。

主な事業内容 Major Services

テストウエハソリューション事業
Test wafer(TEG)solution services

  • パーティクルモニターウエハ Particle monitor wafer
  • ブランケットウエハ  Blanket wafer
  • パターンウエハ  Pattern wafer
  • CMP評価ウエハ  Wafer for use in CMP development and characterization
  • TSV評価ウエハ Through Silicon Via (TSV) pattern wafer
  • カスタムTEG(マスク設計から承ります) Custom test wafer
  • チャージモニターウエハ Charge monitor wafer
  • MEMSチップと混載チップ MEMS chip and MEMS-embedded chip

熱交換器
ヒートビームシリンダー事業
Heat exchanger
(Heat Beam Cylinder)

部品〜
  熱交換器 Heat Beam Cylinder
  (気体加熱、過熱蒸気発生用途)

装置〜
  熱交換器 Heat Beam Cylinderを組み込んだプロセス装置
  (CVD装置、卓上アニール装置、水素発生装置)
コンサルティング事業
Consulting services
  • 太陽電池設置 Photovoltaic Plant
  • 結晶成長高温CVD装置 High temperature CVD-tool for crystal growth

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