私たちフィルテックは、半導体開発時代に得た幅広い科学技術の知識を
製品とサービスで表現し、成長市場の架け橋になります。

株式会社フィルテックはテストウエハと小型高効率熱交換器(Heat Beamシリンダー)で
貴社の技術開発を支援いたします。 お問合せページよりご相談ください。

半導体開発で蓄積された科学知識を用いて、Philtechは先端微細パターンテストウエハの提供から事業を始めました。お客様の御要望に応じたベアSiウエハ、膜付ウエハ、パタンウエハやSiウエハ以外の材料基板のご提供が可能です。パタンウエハはマスク設計から承ります。
また、プラズマダメージを感度良く評価する

ウエハと測定サービスは12インチサイズでも提供可能であり、世界で評価されています。
 更に、特許を取得した高効率の小型熱交換器(Heat Beam シリンダー)をラインナップしています。小型でありながら、ガスや液体等の流体を効率よく、瞬時に高温に加熱し、最高1000℃近くまで温度をあげる事が可能です。

窒素を加熱して生成した高温N2を半導体製造装置の排気ラインに用いると反応生成物の付着を防止できます。また水を加熱して過熱水蒸気発生装置とすることができ、様々な用途での使用が期待されます。

当社は半導体の科学資産を未来世代のための価値に変換していきます。

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Philtech's HB Cylinder

Heat-Beam station instantly produces hydrogen without CO.
This Heat-Beam hydrogen technology was exhibited at THE 7th WORLD HYDROGEN TECHNOLOGY CONVENTION (July 9th to 12th 2017 at the Prague Congress Centre, Prague, Czech Republic)

各種テストウェハやテストチップの製造、測定を承ります