・SiO膜　1um 　　　　・ホールパタン　0.1um 　　　　・エッチ加工　0.8um以上		・0.1um　4端子抵抗測定 　　　　　可能なトレンチパタン 　　　　・電極パッド（CMP対応）付
2003年12月8日米国で開催のIEDM国際学会にて、 「スーパーフィル無電解めっき」技術として 発表し、新聞報道に取り上げられました。
2003年12月9日中国新聞		2003年12月9日 日本経済新聞