過熱水蒸気発生器/ヒートビームシリンダー
(高効率小型ガス加熱器)
テストウエハ

次世代研究開発を強力にサポートするフィルテックのウエハ

フィルテックが供給するウエハ

200mmパタン付ウエハ
Consulting services
  • SiO膜 1um
  • ホールパタン 0.1um
  • エッチ加工 0.8um以上
200mmパタン付ウエハ
Consulting services
  • 0.1um 4端子抵抗測定可能なトレンチパタン
  • 電極パッド(CMP対応)付

2003年12月8日米国で開催のIEDM国際学会にて、上記ウエハに関する技術を「スーパーフィル無電解めっき」技術として発表し、新聞報道に取り上げられました。

■2003年12月9日中国新聞

■2003年12月9日 日本経済新聞