過熱水蒸気発生器/ヒートビームシリンダー
(高効率小型熱交換器)
テストウエハ

Semicon Japan 2015 出展の模様

セミコンジャパン2015に出展し、TSVチャージアップモニタウエハ(TSV wafer, Charge-up monitor wafer)のパネルやウエハを展示いたしました。
ヒートビームシリンダー(Heat Beam Cylinder)は実機を展示し、Al2O3の室温成長を可能にさせたことを示すパネルを展示しました。顧客の方々のご来訪が集中して説明員が不足する時間帯もあり、盛況となりました。

We participated in Semicon Japan 2015 with exhibition of TSV and Charge-up monitor wafers.
We featured the Heat Beam Cylinder and presented how it enables Al2O3 (Alumina) thin film growth at room temperature.
It was very well received, at times with people waiting in line to learn about our capabilities.


semicon2015


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