200mmプラズマダメージ評価用ウエハ。異なるアンテナサイズが混載したレイアウトです。
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テストウエハ
200mm チャージアップモニタ(YST)
300mm チャージアップモニタ(PT013)
300mmプラズマダメージ評価用ウエハ。異なるアンテナサイズが混載したレイアウトです。
チャージアップモニタ チップYST
プラズマダメージ評価用としてチップでご提供可能です。レイアウトはウエハと同じになります。
ホール＆トレンチパターンウエハ
(PT002)
ホール2µm~100µm, トレンチ2µm~1000µmの混載レイアウト。200, 300mmウエハでご提供可能です。
STI CMP評価ウエハ
(PT004)
300mm STI_CMPテスト用ウエハのご提供が可能です。
Cu CMP評価ウエハ
(754)
300mm Cu用CMPテスト用ウエハのご提供が可能です。
トレンチ0.18μm~100μm。
Cu CMP評価ウエハ
(CMP4)
300mm Cu用CMPテスト用ウエハのご提供が可能です。
トレンチ0.08μm~100μm。
Poly-Siパターンウエハ(PT005)
300mm Poly-Si ファインパターンウエハのご提供が可能です。
TSV評価ウエハ
(PT007)
200mm TSVテストウエハ。ホール10µm~30µm, トレンチ2µm~40µmを混載したレイアウトです。
高アスペクト構造トレンチウエハ
(PT063)
200mm高アスペクトSi深堀トレンチパターンウエハ。チップでのご提供も可能です。
ヒートビームシリンダー®
ヒートビームシリンダー 製品群
製品として販売可能なリストを記載しております。
ヒートビームシリンダー 応用例
HBユニットを応用した実用例について記載しております。
