シリコン基板とは異なる材料の基板を用いたパターン形成が可能です。
ガラス基板や石英基板を用いたメタルパターンの形成、石英基板の直接加工等の実施例があります。
特殊基板加工ウエハテストウエハ
特殊基板加工ウエハ
1. ガラス基板上メタルパターンウェハ
顕微鏡ステージ上のガラス基板上Crパターンウエハ
ウエハケースに収納したウエハ
300mmガラス基板上にCrを用いたメタルパターンを形成した例です。
可視光が透過する基板を用いた評価に使用されます。
２. 石英基板直接加工
200mm石英基板の直接加工例です。
可視光が透過するため材料の直接加工であるためパターン認識の評価等に使われます
石英基板を直接加工した例 100nm深さの L&S 断面SEM写真