トレンチパターンウエハテストウエハ

・ウエハサイズ 200mm径
・トレンチ マスク寸法　　0.2um～10um
・トレンチ長さ　3.5mm
・チップサイズ 16mm×16mm
・各サブチップグループにトレンチ幅、パターン密度の異なるトレンチパターンが配置されています。
・ボッシュエッチングを用いたシリコン加工ウエハです。

シリコンの深堀エッチングに適したボッシュエッチングを用い、トレンチ幅とシリコン深さの比(アスペクト比)を大きくすることを狙ったパターンです。
200mmのウエハ状態、ダイシングしたチップ状態いずれも提供可能です。

・ウエハサイズ 150mm径
・トレンチ マスク寸法　　0.5um, 1um, 2um
・ノンボッシュエッチングを用いたシリコン加工ウエハです。

ノンボッシュエッチングでシリコンを深堀したパターンです。トレンチ幅とシリコン深さの比(アスペクト比)は大きくなりませんが、ボッシュエッチングで生じる側面のスキャロッピングがない状態のウエハです。