Poly Siパターン付きウエハテストウエハ

Poly Si パターンウエハ

熱酸化膜等の絶縁膜上にPolySiを成膜しパターン形成したウエハです。
パターンの寸法や位置座標の基準として使う校正用ウエハとして使われます。

マスク名称PT005　チップイメージ

マスクスリミングを行って製造した疎な密度のPolySiパターン

ライン&スペースのレジストパターンをスリミングしPolySiエッチングを行ったパターンです。
繰り返しピッチは広くなりますが単独のPolySiパターンを微細化することができます。

厚膜PolySiパターンの加工例です。
ドーピング処理を行ったPolySiを使用することで、高温の処理に耐えられる電極配線として使用することができます。
又　異なる膜種のカバレッジ評価にも使われます。