様々な仕様・グレードのシリコンウエハ、その他SiCやSOIなど特殊ウエハをご提供致します。
ベアウエハテストウエハ
ベアウエハ
1.シリコンウエハ
結晶方位, 基板厚み,タイプ,パーティクルレベル, 抵抗値, 平坦度等、ご用途に必要な仕様お聞かせください。
| 材質 | シリコン単結晶 |
|---|---|
| サイズ | 2インチ,4インチ, 5インチ, 6インチ, 8インチ, 12インチ 50mm, 100mm, 125mm, 150mm, 200mm, 300mm |
| 用途 | フォトリソ用,パーティクルモニター用,成膜用, ダミー用, 搬送用, 後工程用 |
| 種類 | CZ(MCZ)ウェハ, FZウェハ, 高抵抗ウエハ, 低抵抗ウエハ, パーティクルモニターウエハ, リソウエハ, エピウエハ, アニールウエハ, 薄板ウエハ, ザグリ加工ウエハ, 短冊ウエハ, コインロールウエハ等 |
2.その他基板
ご用途に必要な仕様お聞かせください。
| 種類 | SOI, 石英, SiC, SiGe, サファイア, GaN, LT/LN等 |
|---|
クリーンルーム部材
即納可能な在庫品もございますのでご相談ください。
| ウェハケース（25枚用） | 2インチ, 4インチ, 6インチ, 8インチ, 12インチ用FOSB/FOUP |
|---|---|
| ウェハシッパー（牧葉用） | 6インチ, 8インチ, 12インチ |
| チップケース | |
| FOSB用ガゼット袋 | 透明袋(内袋）, Al袋(外袋) |