ベアウエハ・基板調達テストウエハ

シリコンウエハの取扱サイズ・種類

フィルテックでは次の通り各サイズ/様々な種類のシリコンウエハの取り扱いがございます。

シリコンウエハの詳細仕様

シリコンウエハの詳細仕様についてもご相談いただけます。

シリコンウエハの用途・活用例

用途ごとに、確認したい仕様と該当するウエハの種類の例を示します。

• パーティクルモニター

  装置や工程の清浄度を管理するため、処理前後のパーティクル数の比較に使用します。検査装置の感度確認にも使われます。

  確認したい仕様

  パーティクルレベル（サイズ・個数）

  該当する種類

  パーティクルモニターウエハ

• 成膜・膜評価のベース基板

  ご評価の膜質、膜厚、シート抵抗などを測定するための基板として使用します。成膜までまとめてご依頼いただくこともできます。

  確認したい仕様

  抵抗率、厚み

  該当する種類

  ダミーグレードウエハ、高抵抗ウエハ、低抵抗ウエハ

• フォトリソグラフィの評価

  レジストの塗布均一性、露光・フォーカスの条件出し、現像の評価に使用します。

  確認したい仕様

  平坦度（SFQR、TTV、Warp）

  該当する種類

  フォトリソウエハ

• 後工程の評価

  バックグラインド、ダイシング、テープ貼りなどの条件検討に使用します。

  確認したい仕様

  厚み、研磨仕様（片面・両面）、清浄度

  該当する種類

  コインロールウエハ、薄板ウエハ

• 搬送・装置の立ち上げ評価

  搬送ロボットのティーチング、アライナーやFOUPの確認、装置デモなどに使用します。

  確認したい仕様

  ノッチ・オリフラ、厚み、Bow・Warp

  該当する種類

  ダミーグレードウエハ、メカニカルグレードウエハ、薄板ウエハ

• 検査・計測装置の評価・デモ

  SEM、欠陥検査装置、膜厚計などの立ち上げやデモ、比較評価で、基準となる基板として使用します。

  確認したい仕様

  パーティクルレベル、平坦度、結晶方位

  該当する種類

  パーティクルモニターウエハ、フォトリソウエハ

• ダミー・装置の慣らし運転

  バッチ炉の空きスロットを埋めて温度やガスの流れをそろえる用途や、チャンバーのシーズニング、条件出し前の空運転に使用します。

  確認したい仕様

  枚数、コスト、基本仕様

  該当する種類

  ダミーグレードウエハ、メカニカルグレードウエハ

• 研究・試料用の基板

  研究用試料として使用します。製品によっては少数、また小片にしてのご提供も可能です。小片を大口径用の装置で処理するためのキャリアとしてのザグリ加工ウエハも対応いたします。

  確認したい仕様

  サイズ、抵抗値

  該当する種類

  短冊ウエハ、高抵抗ウエハ、低抵抗ウエハ、ザグリ加工ウエハ

その他の取扱基板

シリコンウエハのほかにも様々な基板を取り扱っています。ご用途に必要な仕様をお知らせください。

ウエハケースなどのクリーンルーム部材

ウエハの保管、搬送、梱包に使用するクリーンルーム部材も取り扱っています。在庫品もございますので、在庫状況はお問い合わせください。