既存のパターンでは評価目的に合致しない場合、お客様が希望するパターンウエハの作製を行います。
パターンイメージを示すイメージ図、最小加工寸法を指示頂ければマスク(レチクル)作製のためのCADデータ(GDS II)の作成も請負ます。
作製するマスクはウエハ製造先の条件にあったマーク類を搭載致します。
マスク作製費用は対象とするウエハサイズ、最小加工寸法によって異なりますので、詳細はご相談下さい。
カスタム設計パターンウエハテストウエハ
カスタム設計パターンウエハ
カスタム設計パターンウエハの作業フロー

1.お客様からの情報提供例

ご希望の断面構造、材料、平面図の寸法イメージをご指示ください

2.パターンウェハのGDS作成例


3.GDSからマスク作製
ウエハ製造に相応しい仕様のマスクを作製します。縮小露光機に使われるマスクはレチクルとも呼ばれます。

バイナリーマスク

ハーフトーンマスク(ペリクル付き)

4.マスクを使ったパターンウエハ作製

枚葉ケース収納の写真

FOSB(複数ウエハケース)収納の写真
ご要望に応じ製造時の断面SEM観察を行います。
ウエハの出荷は複数枚のウエハをまとめたケース(FOSB)収納での出荷 もしくは枚葉ケースで1枚毎のケース収納での出荷が可能です。

狙い目パターン部の断面SEM写真