用語集Technical Words
フィルテック製品をご利用いただく上で
よく使用する用語をまとめています
さ 行
た 行
な 行
は 行
や 行
ら 行
アルファベット・その他
- AI
- ArF露光
- ArF液浸露光
- ALD
- BPSG
- BumpTEG
- CMOS
- CMOSインバーター
- CMP
- Cu配線
- FOSB
- COP
- CVD
- CZウエハ
- DCスパッタ
- DCマグネトロンスパッタ
- DRAM
- ECRプラズマ
- endurance
- FeRAM
- FZウエハ
- GPU
- GST
- HP CMOS
- KrF露光
- i線露光
- IGBT
- HDP-CVD
- PE-CVD
- LP-CVD
- LSTP CMOS
- LTS法
- MCZウエハ
- MPU
- MTBF
- MTTR
- NAND FLASH
- NOR FLASH
- N型ウエハ P型ウエハ
- PCRAM
- PSG
- PVD
- PZT
- ReRAM
- retention
- RFスパッタ
- RIE
- SAWフィルター
- SiC
- SOI
- STI
- Super Steam
- TDDB
- TGV
- TPU
- TSV
- TZDB
- Vth
- Yield Security TEG
- ⅢーⅤ