用語集Technical Words

CZウエハ

チョクラルスキー法で製造するウエハのこと。
チョクラルスキー法とはシリコンを溶解させた石英るつぼの中で種結晶を回転させながらインゴットを引き上げる方法。
このように製造法で分類した呼び方では他にMCZウエハ、FZウエハなどがある。