膜付きウエハテストウエハ

膜付きウエハ

半導体膜、絶縁膜、メタル膜等各種材料・製法での成膜加工、成膜ウエハをご提供致します。

世界中の協力加工先の中からご用途やご希望に沿った適切な加工先を選定・ディレクションし、成膜致します。

表記載以外でも対応可能なものもございますので、膜種/膜厚、ウエハサイズなどご希望お聞かせください。

Classification Film Deposition Method
Oxide Th-SiO2 Thermal
P-SiO PECVD
ALD-SiO ALD
P-TEOS PECVD
LP-TEOS LPCVD
HDP PECVD
USG PECVD
PSG CVD
BPSG CVD
Silicon Poly-Si LPCVD
α-Si PECVD
Nitride LP-SiN LPCVD
P-SiN PECVD
Carbon α-C PECVD
SoC Coating
Photo Resist I-Line Coating
KrF Coating
ArF Coating
Low-K (SiOC) BD CVD
AURORA CVD
CORAL CVD
Metal Ta,TaN Sputter
Ti,TiN Sputter
W,WN Sputter, CVD
Cr Sputter
Cu Sputter, EP
Al,Al-Cu,Al-Si Sputter
Pt Sputter
Ni Sputter
Ru Sputter, CVD, ALD
Au Sputter
Mo, MoSi2, Mo2N,MoO Sputter
Co Sputter, CVD, ALD
SiGe, SiC, SiCN Sputter, CVD
HfO2 Sputter, ALD
ZrO2 Sputter, ALD
AL2O3 Sputter, ALD