小口径ウエハから大口径ウエハまでご提供
Si基板以外の材料もご相談ください
半導体開発のエキスパート集団
選ばれる理由Feature
当社製品サービスを支える人材は日本を代表する半導体製造会社で長年にわたりかかわってきた経歴の技術者の集団です。
当社製品サービスは半導体製造に必須な先端開発・製造品質の維持管理のために利用され続けています。
当社はお客様のご希望を設計や開発のレベルから対応します。ワンストップで満足されるサービスを提供し、長く信頼されてきました。
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テストウエハ関連
小型高効率熱交換器（ヒートビームシリンダー®）関連
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用語集Technical Words
弊社製品をご検討いただく際によく使われる様々な用語を解説しています。 もっとご覧になりたい方は「その他用語集はこちら」ボタンをクリックしてください。
テストウエハ関連
テストウエハ
半導体製造装置や材料、電気特性の評価用に使われるウエハのことで、ダミーウエハとも呼ばれる。評価内容によって、ベアウエハ、ベタ膜付きウエハ、パターン付きウエハなど様々なテストウエハを使い分ける。
膜付きウエハ
基板に半導体膜、絶縁膜、メタル膜等の成膜加工しただけの状態のウエハのこと。 膜付きウエハ、成膜ウエハ、ブランケットウエハともいう。
チャージアップモニタ
プラズマや荷電粒子を用いる半導体製造工程では、そのプラズマや荷電粒子のチャージが再分布してMOS構造のゲート酸化膜を貫いて電界を形成する。
トレンチパターンウエハ
パターン付きウエハのなかでトレンチ（溝）形状の加工を行ったウエハのこと。 成膜装置のステップカバレッジ評価等に使われる。
小型高効率熱交換器関連（ヒートビームシリンダー®）
過熱水蒸気
与えられた圧力のもとで飽和水蒸気より高い温度の水蒸気を指す。 有機物と反応して化合物を作る。 無酸素で高温加熱できるので、乾燥に使われる。
SuperSteam
過熱水蒸気の英語訳。 読み方：すーぱーすちーむ
過熱水蒸気乾燥
過熱水蒸気は空気を遮断して対象物を加熱または乾燥させる。 応用例として印刷物や衣類の短時間乾燥がある。
バイオメタン水素生成
バイオメタンと過熱スチームをRu触媒に600℃で衝突させると水素を発生させる。 HeatBeamシリンダーを使うことで小型の装置で白金触媒を使わずに水素を発生させることができる。
「テストウエハ」の評価事例Evaluation Cases
最新のお知らせLatest News
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移転のお知らせ
2022/09/26
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肌ケア水 スキンウォ―ターを販売開始しました。
2019/10/15
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当社代表の古村が講演しました。
2018/12/18
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HB製品の技術開発と研究のための実験施設（Fuchu Laboratory）を開設しました。
2016/12/26
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東京ビッグサイトで開催された水素ステーションインフラ展に、水素生成のHBシリンダーを展示しました。（2016/9/28～30）
2016/09/28
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