Heat Beamシリンダーの応用例：半導体工場の排気配管詰まり防止（工場稼働率UP）

半導体工場で稼働させる装置にCVD装置とエッチング装置があります。反応副生成物が配管を詰まらせ、稼働率をさげて損害を与えます。その問題を解決する応用例です。