応用例
（小型高効率熱交換器）Application
（小型高効率熱交換器）Application
Heat Beamシリンダーの応用例：微細な穴に室温でアルミナ (Al2O3) 膜を成長
小型高効率熱交換器
2024年02月17日
塩化アルミAlCl3は2量体分子の原料です。 水も多量体の巨大分子原料です。そのままでは室温反応は起きづらいのですが、Heat Beam Cylinderで加熱して単量体にして導入すると反応します。室温で酸化アルミニュームを成長させる応用例です。
室温でアルミナ (Al2O3) 膜を成長させるHB-CVD実験装置
Al2O3 成長システム概要
酸化アルミニューム (Al2O3)
アルミナ(Al2O3)をPETボトル内壁に室温成長
