評価事例
（テストウエハ）Evaluation

チャージダメージ評価事例

テストウエハ

2024年02月16日

Antenna Ratioが高いほどプラズマダメージは観察され易い。
300mmウェハに同じパターンを配置することでプラズマダメージのウェハ面内での偏りも知ることができる。
これにより装置的な不具合を修正し、より良い装置へとブラッシュアップできる。

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