評価事例
（テストウエハ）Evaluation

PVD-Cu膜のカバレージ評価事例

テストウエハ

2024年02月16日

弊社のホール＆トレンチTEGを使って、実装工程におけるPVD-Cu膜の着き回りを評価した事例です。
このPVD-Cu膜をシード層にしてCuメッキの埋め込み性などを評価しています。

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