世界中の協力加工先の中からご用途やご希望に沿った適切な加工先を選定・ディレクションし、成膜致します。
膜付きウエハテストウエハ
膜付きウエハ
半導体膜、絶縁膜、メタル膜等各種材料・製法での成膜加工、成膜ウエハをご提供致します。
表記載以外でも対応可能なものもございますので、膜種/膜厚、ウエハサイズなどご希望お聞かせください。
Classification | Film | Deposition Method |
---|---|---|
Oxide | Th-SiO2 | Thermal |
P-SiO | PECVD | |
ALD-SiO | ALD | |
P-TEOS | PECVD | |
LP-TEOS | LPCVD | |
HDP | PECVD | |
USG | PECVD | |
PSG | CVD | |
BPSG | CVD | |
Silicon | Poly-Si | LPCVD |
α-Si | PECVD | |
Nitride | LP-SiN | LPCVD |
P-SiN | PECVD | |
Carbon | α-C | PECVD |
SoC | Coating | |
Photo Resist | I-Line | Coating |
KrF | Coating | |
ArF | Coating | |
Low-K (SiOC) | BD | CVD |
AURORA | CVD | |
CORAL | CVD | |
Metal | Ta,TaN | Sputter |
Ti,TiN | Sputter | |
W,WN | Sputter, CVD | |
Cr | Sputter | |
Cu | Sputter, EP | |
Al,Al-Cu,Al-Si | Sputter | |
Pt | Sputter | |
Ni | Sputter | |
Ru | Sputter, CVD, ALD | |
Au | Sputter | |
Mo, MoSi2, Mo2N,MoO | Sputter | |
Co | Sputter, CVD, ALD | |
SiGe, SiC, SiCN | Sputter, CVD | |
HfO2 | Sputter, ALD | |
ZrO2 | Sputter, ALD | |
AL2O3 | Sputter, ALD |