英語ではElectromigrationと表記する。
電気伝導体の中で移動する電子と金属原子の間で発生する衝突によって運動量の交換が行われ、
金属原子が徐々に移動することにより電気伝導体の形状に欠損が生じる現象のこと。
半導体では素子の微細化とともに配線も微細化し、エレクトロマイグレーションの発生が顕在化しており、様々な対策が実施されている。
用語集Technical Words
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英語ではElectromigrationと表記する。
電気伝導体の中で移動する電子と金属原子の間で発生する衝突によって運動量の交換が行われ、
金属原子が徐々に移動することにより電気伝導体の形状に欠損が生じる現象のこと。
半導体では素子の微細化とともに配線も微細化し、エレクトロマイグレーションの発生が顕在化しており、様々な対策が実施されている。