基板ウエハのエッジから内側に2~3mm入った領域を有効領域とし、その領域内に完全な形で入っているチップのことをいう。
丸い基板ウエハで四角いチップを製造しようとすると、どうしてもチップの角が丸い基板ウエハの領域外に出る。
また丸い基板ウエハ自体もウエハ全面を有効領域にはできず、基板ウエハのエッジから内側に2~3mm入った領域を有効領域としている。
Φ300mmシリコンウエハであればΦ294~296mmの領域が有効領域となり、この丸い領域内に四角いチップが完全に入っているチップのみが有効チップとなる。
用語集Technical Words