i線露光

フォトリソグラフィ工程における基板ウエハ上のレジストを感光させる露光方法の一種。
水銀が持つ365nmのスペクトル線を用いた露光技術のことで、ステップ&リピート方式と組み合わせて微細なレジストパターンを基板ウエハに転写することができる。