レジスト

微細パターンの形成などに使用する感光性を持つ材料のこと。

レジストは液状の物質なので、スピンコートで基板ウエハ全面に一定の膜厚で成膜する。

基板ウエハ全面に塗布したレジストに半導体リソグラフィ工程でマスクパターンに光を照射して、パターンを転写していく。
このとき、光に当たった部分(感光した部分)が現像液に溶ける性質のものをポジ型レジスト、反対に溶けない性質のものをネガ型レジストという。