Yield Security TEG

Yield（歩留まり）を向上させるために、プラズマ工程で受けるチャージ由来のダメージを測定するMOSキャパシタが配置されたTEGウエハを指す。

フィルテックにおける200mmサイズのプラズマダメージモニターTEGの商品のこと。
300mmサイズで同様のTEGウエハの商品名はPT013となる。