アレニウスプロット

ある温度T(絶対温度)での物質の化学反応の速度Kを表すアレニウスの式：K＝Aexp(-Ea/RT), R=気体状数を使って
化学反応の活性化エネルギーEa(1mol当たり)を導き出すのに使うプロット（グラフ）のこと。
半導体プロセスでは、CVD反応の活性化エネルギーを求めるときに一般に使用する。
例えば、縦軸を成膜速度(あるいはある一定時間の成膜量)として横軸を成膜温度の1/Tの対数グラフでプロットしたときのグラフの傾きが-Eaで表される。