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用語集Technical Words
基板ウエハにデバイス回路を形成し、それを四角形の領域に切り出したもののこと。 通常デバイス回路は1mm□程度から30mm□程度の大きさのチップに切り出すことを想定して回路を作る。 このチップの大きさは露光機で繰り返しパターンを形成できる大きさに由来している。
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