用語集Technical Words

チップ

基板ウエハにデバイス回路を形成し、それを四角形の領域に切り出したもののこと。

通常デバイス回路は1mm□程度から30mm□程度の大きさのチップに切り出すことを想定して回路を作る。
このチップの大きさは露光機で繰り返しパターンを形成できる大きさに由来している。