半導体工場の生成物防止

半導体工場のCVD/ALD及びエッチング装置から除外装置までの間の排気配管が生成物堆積で詰まる問題がある。
小型高効率熱交換器（ヒートビームシリンダー®）で発生させるホットN2がこの堆積を防止する。