バッチ式

複数枚のSiウエハをまとめて処理することをいう。
このように複数枚のSiウエハをまとめて処理する装置をバッチ式装置と呼ぶ。
半導体の製造プロセスではLOT単位で処理をすることが一般的で、1LOT=25枚であることが多い。
そのためバッチ式処理も25枚の整数倍で処理する装置が多い。