パターンのデザインの中で、幅のある線(Line)と線と線の隙間(Space)のこと。
L/Sとも表記される。
幅と隙間を設計したパターンが配置されているウエハをライン&スペースパターンウエハという。
用語集Technical Words
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パターンのデザインの中で、幅のある線(Line)と線と線の隙間(Space)のこと。
L/Sとも表記される。
幅と隙間を設計したパターンが配置されているウエハをライン&スペースパターンウエハという。