PSG

Phosphosilicate glassの略称でリンケイ酸ガラスのこと。
リン（ｐ）をドープしたシリコン酸化膜を指す。
特にPSGをリンを不純物として拡散する拡散源として用いるときは、高濃度にリンをドープしたTEOSーＣＶＤ酸化膜を用いる。
また、以前の半導体ではトランジスタ素子と上層の配線層の間の絶縁膜としてPSGを用いていた。
PSGには、高温(1000℃程度)で熱するとリフローして平坦化する特性があることと、ナトリウム(Na)などのアルカリ金属をゲッタリングする能力があるためである。
この場合、リンの濃度は10%程度であった。