パターン付きウエハ

半導体デバイスと同様な微細パターンをシリコンウエハに形成し、いろいろなプロセスやデバイスの評価や管理ができるようにしたテストウエハのこと。
TEG(Test Elementary Group)とも表現される。

フィルテックでは、ホールパターンウエハ・トレンチパターンウエハ・チャージアップモニタウエハ・実装評価ウエハなど各種のパターン付きウエハをご用意。