ⅢｰⅤ

Ⅲ族とⅤ族の化合物半導体をⅢ-Ⅴ族半導体という。
代表的なものにGaAs, InGaAsやInPなどがある。
シリコンに比べ電子の移動度が飛躍的に大きいことからNMOSトランジスタへの応用が検討されているが、
Ⅲ-Ⅴ族半導体表面への酸化膜成長などシリコンに比べ非常に難しく、実用化はされていない。