反応性スパッタリング

スパッタリングガス(Ar)に加えて、酸素や窒素などの反応ガスを添加し、
スパッタ原子（例えば、SiやTiなど）を気相中で酸化反応や窒化反応させてその反応物を基板に成長させる方法のこと。