SOI

Silicon on Insulatorの略称。

シリコン酸化膜付のシリコンウエハに別のシリコンウエハを貼り合わせたものや、シリコンウエハに酸素原子をイオン注入して結晶内部にシリコン酸化膜層を形成したものがある。

シリコンウエハよりも高い性能と信頼性を持ち、特に高速・低消費電力の半導体デバイスにおいて重要な役割を果たしている。