絶縁膜

電気を絶縁する膜のこと。
半導体ではSiO2膜（シリコン酸化膜)、SiＮ膜(シリコン窒化膜）が多用されている。

また電気絶縁性だけでなく誘電率を小さくした有機材料やLOW-K膜、誘電率の大きいHfO2膜やAl2O3膜なども使われている。