アスペクト比

Aspect Ratioと表記し、略称はAR。
微細ホールパターンや溝パターンを形成したときに、ホール径や溝幅のように横(幅)方向の寸法に対するホール深さや溝深さのように縦(深さ)方向の寸法の比のこと。

縦(深さ)方向/横(幅)方向で表し、数値が大きいほどアスペクト比の高いパターンといえる。