イオンプレーティング

金属や金属酸化物などの被膜部材に電圧を印加することでアーク放電を起こし、
被膜部材を瞬時に気化・イオン化させ高エネルギーを持つ被膜部材の粒子を対象物へ堆積させる方法。
真空蒸着やスパッタリングに比べ、密着性の高い被膜が得られる。