スパッタ

スパッタリングの省略形で物理的に微細粒子を基板に着床させるPVD法の一つ。
プラズマで励起させたスパッタリングガス(Ar)を成膜部材（ターゲット）に衝突させて飛び出してくる成膜部材の原子や分子を基板に着床させる。

スパッタにはDCマグネトロン法、二極法、RF法などの方法がある。