テストウエハ

半導体製造装置や材料、電気特性の評価用に使われるウエハのことで、ダミーウエハとも呼ばれる。

評価内容によって、ベアウエハ、ベタ膜付きウエハ、パターン付きウエハなど様々なテストウエハを使い分ける。