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評価事例/応用例
コラム/研究実績
用語集Technical Words
半導体製造装置や材料、電気特性の評価用に使われるウエハのことで、ダミーウエハとも呼ばれる。 評価内容によって、ベアウエハ、ベタ膜付きウエハ、パターン付きウエハなど様々なテストウエハを使い分ける。
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