低パーティクルウエハ

パーティクルの表面濃度が小さいウエハのこと。

パーティクル測定粒径が小さいほど、検出数が少ないほど低パーティクルウエハといえる。

微細化に伴い、管理・要求されるパーティクルスペックも年々厳しくなってきているため、低パーティクルと呼ばれるウエハのレベルもそれに伴いアップデートされていっている。