結晶方位

単結晶における結晶面の方位のこと。

単結晶は原子が規則的に並んだ物質であり、その結晶において原子の配置を見たとき規則的に互いに並行な間隔で配列された面が存在する。
この面を結晶面と言い、その結晶面を(xyz)軸で表したのが結晶面方位。

半導体デバイスに利用しているシリコン単結晶では、(100), (110), (111)の3種類の結晶面方位が重要となる。

半導体デバイスで結晶面方位(100)を使うようになったのは、他の結晶面方位よりも水素アニール処理によるH終端処理によってSiの界面準位密度を低減できるからである。