ピラーパターンウエハ

柱状のパターンを形成したウエハを指す。
半導体における微細パターンの形成プロセスでは、四角形に設計した柱状パターンでも微細になればなるほど
露光時の光の回折で角が丸まり、四角いパターンが丸いパターンへとなる。