ウエハをコインスタック(平積み)した状態のウエハのこと。
通常のシリコンウエハは25枚づつ半導体クリンルーム仕様のカセットケースやFOSBに格納されハンドリングされるが、
コインロールは大気環境で取り扱われ、ウエハ同士を重ね合わせて簡易的に梱包されてハンドリングされる。
ダストフリーやクリーンルームステイタスを求められないダイシングやBG用など後工程など
クリーン度が必要なく安価で大量に使用するテスト用に使われる。
用語集Technical Words
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