高抵抗ウエハ

抵抗値が高いウエハのこと。
比抵抗が1000Ωｃｍ以上で定義されることが多い。

CZウエハは酸素ドナー不純物を含むので高抵抗にすることは難しいため、高抵抗ウエハと呼ばれるものはFZウエハであることが多い。