コリメータ法

英語ではCollimatorと表記する。

スパッタはターゲットから直線的に飛んでくる原子(微細粒子)を基板に着床させる技術であり、溝やホールのある基板のパターン上への着き回り(Conformality)が非常に悪いので
ターゲットと基板の間にコリメータを入れて直進性の高い原子(微細粒子)をより基板に着床させるようにした技術。