酸化ガリウム　(Ga2O3)

パワーデバイス用の基板原料として注目を集めている。
シリコン(Si)、炭化ケイ素(SiC)、窒化ガリウム(GaN)よりも低損失のパワーデバイスの製造が可能と考えられており、
理論的にはSiの3000分の1、SiCの6分の1、GaNの3分の1である。
酸化ガリウムはα、β、γ、δ、εの5つの異なる形を取るが、これらの内、β-酸化ガリウムが最も安定な形である。