ウエハ口径

ウエハの直径のこと。

単位としてインチとｍｍを用いる。
シリコンウエハだと2インチ（50mm)～12インチ（300mm)までが一般的に流通している。

2010年頃までは300mmの次の大口径化を目指し450mmの実用化に向けた研究開発が行われていたが、製造装置の入れ替えに莫大な設備投資が必要なことがネックとなり現時点では量産化されていない。

大口径化の逆で、少量多品種の製造に特化したミニマルファブはハーフインチ（12.5mm)のサイズを採用し、ハーフインチのシリコンウエハも存在する。